Basierend auf den meist verwendeten Spin Chuck Größen hat SAWATEC ein Spin Chuck Set zusammengestellt, welches verschiedene Spin Chucks von Specimen 8, 1″, 2″, 4″ und 6″ Vakuum-Chucks enthält.
Der Chuckhalter ist ein integrierter Bestandteil des Spin Modules SM-150. Das Spin Chuck Set wurde für unser Spin Module SM-150 konzipiert, kann jedoch auch für größere Instrumente eingesetzt werden
Vorteile
- Universelles Spin Chuck Set, geeignet für austauschbare Chuck Größen auch nach Kundenwunsch
- Reduzierte Kosten um gleichzeitig mehrere Substratabmessungen zu verwenden
- Schnelleres Austauschen zwischen Substraten unterschiedlicher Größe
- Keine Werkzeuge für das Austauschen erforderlich
- Kompatibel mit allen SAWATEC Spin Modulen
- Reinraumtaugliche Aufbewahrungs-Metalldose für nicht benutzte Chucks
