MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) Produkte werden vielfältig eingesetzt und damit sind auch die Anforderungen sehr unterschiedlich. MEMS sind winzige Bauelemente, die Logikelemente und mikromechanische Strukturen in einem Chip vereinen. Sie können mechanische und elektrische Informationen verarbeiten. Die meisten Elemente dürften Sensoren und Aktoren, aber auch Oszillatoren und Filter sein. Diese Mechatronik-Chips werden meist aus Silizium hergestellt. Die Strukturen können kleiner als ein Mikrometer sein.
MEMS-Geräte erfordern hochspezialisierte Anlagen zur Herstellung dieser mechanischer Strukturen. SAWATEC bietet mit dem iSPRAY Sprühbelacker das ideale Instrument zur Herstellung von 3D-Mikrostrukturen. Diese werden von der Uhrenindustrie und auch Sensorhersteller für Automotive eingesetzt.
