Wir freuen uns, die nächste Ausbaustufe unserer Cluster-Systeme vorzustellen:

Unser hochmodernes Cluster-System der neuen Generation mit optimierter Software, modularem Design und den Optionen Load Ports, Chiller Module sowie der zusätzlichen Filter-Lüfter-Einheit!

Die neue Cluster-Generation kombiniert Innovation und Flexibilität, um die Systeme einfach für spezifische Kundenanforderungen zu konfigurieren. Die optional erhältliche 3-stufige Filter-Lüfter-Einheit sorgt für eine höhere Reinheit im Prozessraum, das neue Chiller-Module kann zur effizienteren Kühlung der Cooplate oder zum Temperieren der Entwicklerlinien eingesetzt werden und die integrierten FOUP Load Ports ermöglichen die vollautomatische Be- und Entladung der Substrate.

Begleiten Sie uns auf dem Weg in die Zukunft von Technologie und Innovation. Setzen Sie sich noch heute mit uns in Verbindung, um mehr darüber zu erfahren, wie unser fortschrittliches Cluster-System Ihre Produktion bezüglich Qualität und Produktivität verbessern kann. Lassen Sie uns gemeinsam neu definieren, was möglich ist!

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