Hightech-Produkte für vielfältige Marktanwendungen
Als innovatives Technologieunternehmen sind wir bestrebt, die spezifischen Kundenbedürfnisse unterschiedlichster Märkte im hohen Masse zu erfüllen und durch unsere Kreativität und unser Know-how einen Mehrwert zu schaffen.

Besondere Herausforderungen sind für uns ein Ansporn. Im direkten Dialog mit dem Kunden entwickeln wir auch anwendungsspezifische Lösungen und setzen diese in kurzer Zeit in serienreife Produkte um.

  • Advanced Packaging

    Die Anforderungen an Advanced Packaging werden immer anspruchsvoller, um möglichst viele Funktionen auf kleinstem Raum unterzubringen.


    Unser breites Produktsortiment deckt die verschiedenen Prozessstufen in der Lithografie ab. Die Instrumente können mit modularen Ausrüstungsoptionen auf die spezifischen Prozessanforderungen angepasst werden. Für die automatisierte Produktion sind SAWATEC Cluster-Systeme die optimale Wahl und vereinen alle Prozessstufen kompakt in einem System. Die Cluster-Systeme kombinieren optimale Betriebskosten mit einzigartigen technologischen Innovationen, um den heutigen und zukünftigen Anforderungen gerecht zu werden.

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  • Flat Panel Display

    Aufgrund des weit verbreiteten Einsatzes von Flachbildschirmen in unserem Leben stehen die Hersteller vor der grossen Herausforderung, die Herstellungskosten zu senken und gleichzeitig die Effizienz der Displays zu verbessern, den Stromverbrauch zu senken und die Lebensdauer zu erhöhen.


    SAWATEC unterstützt Sie mit flexiblen Ausrüstungen für grossformatige Substrate bis 900 mm wie z. B.:
    • Belacker
    • Heizplatten
    • Entwickler

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  • LED / OLED

    Organische Leuchtdioden (OLEDs) sind eine der vielversprechendsten Display- und Beleuchtungstechnologien. Die emittierende Elektrolumineszenzschicht von OLEDs ist eine organische Verbundfolie, die vor Wasserdampf geschützt werden muss. Wegen des preissensiblen Markts müssen die Betriebskosten möglichst gering gehalten werden.


    Die SAWATEC Instrumente zeichnen sich durch ihre hohe Prozesssicherheit, geringen Stillstands- und Wartungskosten und ein gutes Preis-/Leistungsverhältnis aus, was für die Hersteller von Leuchtdioden wichtige Entscheidungsgrundlagen bei der Beschaffung der Prozessanlagen ist.

    Insbesondere unsere Einstiegsmodelle Hotplate HP-150 und Spin Module SM-150 werden bevorzugt in Gloveboxen eingesetzt.

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  • MEMS / MOEMS

    MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) Produkte werden vielfältig eingesetzt und damit sind auch die Anforderungen sehr unterschiedlich. MEMS sind winzige Bauelemente, die Logikelemente und mikromechanische Strukturen in einem Chip vereinen. Sie können mechanische und elektrische Informationen verarbeiten. Die meisten Elemente dürften Sensoren und Aktoren, aber auch Oszillatoren und Filter sein. Diese Mechatronik-Chips werden meist aus Silizium hergestellt. Die Strukturen können kleiner als ein Mikrometer sein.


    MEMS-Geräte erfordern hochspezialisierte Anlagen zur Herstellung dieser mechanischer Strukturen. SAWATEC bietet mit dem iSPRAY Sprühbelacker das ideale Instrument zur Herstellung von 3D-Mikrostrukturen. Diese werden von der Uhrenindustrie und auch Sensorhersteller für Automotive eingesetzt.

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  • Micro Optics

    Bei der Mikrooptik handelt es sich um Strukturen und Komponenten im Mikrometer- oder Submikrometermassstab, die Licht manipulieren und Photonen verwalten. Es gibt eine Vielzahl von Anwendungen wie z. B. optische Kommunikation, optische Industrie und Displays, Mikroskopie. Wichtig bei der Herstellung ist vor allem, die Konzentration luftgetragener Partikel möglichst gering zu halten - also Reinraumtechnik.


    Unsere Produktpalette bietet spezifische Lösungen an (z. B. HMDS Applikation, kundenspezifische Chucks für schwere Glassubstrate), welche für die Verarbeitung von optischen Materialien (z. B. Glas) geeignet sind.

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  • Nanotechnologie

    Die Nanotechnologie befasst sich mit dem Entwurf, der Verarbeitung und der Nutzung von Materialien, Strukturen und Geräten in Nanometerdimensionen. Da sie durch ihre Grösse definiert ist, deckt sie ein breites Spektrum wissenschaftlicher Bereiche ab - darunter Oberflächenwissenschaft, Halbleiterphysik, Mikro- und Nanofertigung und Molekulartechnik. Entsprechend vielfältig sollten auch die Produktionsanlagen sein.

    SAWATEC unterstützt Sie mit flexiblen Anlagen für die Mikro- und Nanofertigung, welche mit spezifischen Dosiersystemen und mit sehr kleinen Dosiermengen ausgestattet sind.

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  • Photovoltaic

    Ein typisches Photovoltaiksystem verwendet Solarmodule, von denen jedes aus einer Reihe von Solarzellen besteht, die Strom erzeugen können. Durch die Strukturierung der Oberfläche und die Strukturierung des Substrats kann der Wirkungsgrad der Photovoltaik-Solarzellen erhöht und damit die Kosteneffizienz gesteigert werden.


    Unsere Spin Coater und Hotplates eignen sich speziell auch für die Dünnschicht-Photovoltaik. Zudem bieten wir unsere Instrumente auch für sehr grosse Substrate bis 900 mm an.

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  • Semiconductor

    Halbleiterbauelemente gehören zur Hightechbranche, welche unermüdliches Streben nach Innovation fordert. Dabei spielen diskrete Bauelemente und integrierten Schaltungen (ICs) eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung neuer oder optimierter Anwendungslösungen. SAWATEC unterstützt Kunden mit modular aufgebauten Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterherstellung wie z. B.:

    • Heizplatten (dehydrieren, soft- und hardbake)
    • Belacker (Sprühbelacker)
    • Entwickler
    • Reiniger und Trockner
    • Integrierte Systeme

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